酸种类
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高速率
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中速率
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低速率
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HNO3
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40 ml/hr
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25 ml/hr
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5 ml/hr
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HCL
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40 ml/hr
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25 ml/hr
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10 ml/hr
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HF
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40 ml/hr
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25 ml/hr
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10ml/hr
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H2O
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50 ml/hr
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35 ml/hr
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10ml/hr
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元素
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GB/T626-2006 优级纯硝酸
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GB/T622-2006优级纯盐酸
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GB/T620-1993优级纯氢氟酸
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DST1000A纯化后
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Fe
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<200ppb
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<100ppb
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<500ppb
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≈0.01ppb
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As
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<10ppb
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<30ppb
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国标未公布
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≈0.01ppb
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Cu
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<50ppb
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<100ppb
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国标未公布
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≈0.01ppb
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Pb
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<50ppb
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<200ppb
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<1000ppb
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≈0.01ppb
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Sn
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国标未公布
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<100ppb
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国标未公布
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≈0.01ppb
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Ca
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国标未公布
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国标未公布
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国标未公布
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≈0.01ppb
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Mg
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国标未公布
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国标未公布
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国标未公布
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≈0.01ppb
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部件号
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描述
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525-1000-230
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DST-1000A 酸纯化系统
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155-01-01-1000
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1 L
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PFA 溶液收集瓶, 38mm 开颈接口
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155-01-01-0500
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500 ml
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PFA 溶液收集瓶, 38mm 开颈接口
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155-01-01-0250
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250 ml
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PFA 溶液收集瓶, 38mm 开颈接口
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155-01-01-0125
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125 ml
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PFA 溶液收集瓶, 38mm 开颈接口
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600-038-46
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38 mm
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PFA 密闭转移 排气开关, (2) 1/4”管路接口, 于顶部, 侧部
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